Som professionell tillverkning vill vi ge dig halvledarkomponenter. Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.
SiC-belagda komponenter med hög renhet är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från grafittillbehör för kristalltillväxt heta zoner (värmare, degelsusceptorer, isolering) till högprecisionsgrafitkomponenter för waferbearbetningsutrustning, såsom kiselkarbidbelagda grafitsusceptorer för Epitaxi eller MOCVD.
Fördelar för halvledarprocesser
De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex tillhandahåller högren kiselkarbid (SiC) belagd grafitkonstruktion ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och beständighet.
Kammarlock â
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.
End Effector â
Ändeffektor är robotens hand som flyttar halvledarskivor mellan positioner i waferbearbetningsutrustning och bärare.
Inloppsringar â
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
Fokusring â
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Wafer Chuck â
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.
Kammarlocket av kiselkarbid som används i kristalltillväxt och bearbetning av waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex är en storskalig tillverkare och leverantör av kiselkarbidbelagd grafitsusceptor i Kina. Våra produkter har en bra prisfördel och täcker många av de europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner.
Läs merSkicka förfråganMOCVD vakuumkammare lock som används i kristalltillväxt och waferhantering bearbetning måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex kiselkarbidbelagd MOCVD-vakuumkammarlock som är konstruerat speciellt för att klara dessa utmanande miljöer. Våra produkter har en bra prisfördel och täcker många av de europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfrågan