Som professionell tillverkning vill vi ge dig halvledarkomponenter. Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.
SiC-belagda komponenter med hög renhet är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från grafittillbehör för kristalltillväxt heta zoner (värmare, degelsusceptorer, isolering) till högprecisionsgrafitkomponenter för waferbearbetningsutrustning, såsom kiselkarbidbelagda grafitsusceptorer för Epitaxi eller MOCVD.
Fördelar för halvledarprocesser
De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex tillhandahåller högren kiselkarbid (SiC) belagd grafitkonstruktion ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och beständighet.
Kammarlock â
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.
End Effector â
Ändeffektor är robotens hand som flyttar halvledarskivor mellan positioner i waferbearbetningsutrustning och bärare.
Inloppsringar â
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
Fokusring â
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Wafer Chuck â
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.
Semicorex avancerade komponenter med hög renhet belagda med kiselkarbid är byggda för att motstå de extrema miljöerna i processen för waferhantering. Vår Semiconductor Wafer Chuck har en bra prisfördel och täcker många av de europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex ultrarena keramiska komponenter, perfekta för nästa generations litografi och waferhanteringsapplikationer, säkerställer minimal kontaminering och ger exceptionellt lång livslängd. Vår Wafer Vacuum Chuck har en bra prisfördel och täcker många av de europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex hållbara fokusringar för halvledarbearbetning är designade för att motstå de extrema miljöerna i plasmaetsningskammare som används vid halvledarbearbetning. Våra fokusringar är gjorda av högren grafit belagd med en tät, slitstark kiselkarbid (SiC) beläggning. SiC-beläggningen har höga korrosions- och värmebeständighetsegenskaper, samt utmärkt värmeledningsförmåga. Vi applicerar SiC i tunna lager på grafiten med den kemiska ångavsättningsprocessen (CVD) för att förbättra livslängden på våra fokusringar.
Läs merSkicka förfråganSemicorex Plasma-bearbetningsfokusring är speciellt utformad för att möta de höga kraven på plasmaetsningsbearbetning inom halvledarindustrin. Våra avancerade kiselkarbidbelagda komponenter med hög renhet är byggda för att tåla extrema miljöer och är lämpliga för användning i olika applikationer, inklusive kiselkarbidskikt och epitaxihalvledare.
Läs merSkicka förfråganSemicorex avancerade SiC Focus Rings med hög renhet är byggda för att motstå extrema miljöer i plasmaetsning (eller torretsning) kammare. Vi fokuserar på halvledarindustrier som kiselkarbidskikt och epitaxihalvledare. Våra produkter har en bra prisfördel och täcker många av de europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex är en storskalig tillverkare och leverantör av kiselkarbidbelagd grafit i Kina. Vår MOCVD-inloppstätningsring har en bra prisfördel och täcker många av de europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner.
Läs merSkicka förfrågan