Som professionell tillverkning vill vi ge dig halvledarkomponenter. Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.
SiC-belagda komponenter med hög renhet är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från grafittillbehör för kristalltillväxt heta zoner (värmare, degelsusceptorer, isolering) till högprecisionsgrafitkomponenter för waferbearbetningsutrustning, såsom kiselkarbidbelagda grafitsusceptorer för Epitaxi eller MOCVD.
Fördelar för halvledarprocesser
De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex levererar högren kiselkarbid (SiC) belagd grafitkonstruktion ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och beständighet.
Kammarlock →
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.
Sluteffektor →
Ändeffektor är robotens hand som flyttar halvledarskivor mellan positioner i waferbearbetningsutrustning och bärare.
Inloppsringar →
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
Fokusring →
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.
Semicorex SiC Heating Filament är en kiselkarbidbelagd grafitvärmare designad för wafervärmning vid avancerad halvledartillverkning. Att välja Semicorex innebär att välja en pålitlig partner som levererar material av hög renhet, precisionsanpassning och långvarig prestanda för de mest krävande termiska processerna.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex kiselkarbidchuckar är speciellt designade för fotolitografiutrustning och har flera fördelar som hög precision, ultralätt vikt, hög styvhet, låg värmeutvidgningskoefficient och utmärkt slitstyrka.
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC Furnace Tubes är kiselkarbidrör av hög renhet tillverkade av avancerad 3D-utskriftsteknik, designad för högtemperatur solcellsprocesser. Semicorex levererar banbrytande SiC-lösningar med överlägsen styrka, stabilitet och tillförlitlighet som solenergiindustrin över hela världen litar på.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC-paddlar är en fribärande arm av hög renhet av kiselkarbid, designad för wafertransport i högtemperaturoxidations- och diffusionsugnar över 1000 ℃. Att välja Semicorex innebär att säkerställa exceptionell materialkvalitet, precisionsteknik och långsiktig tillförlitlighet som ledande halvledarfabriker litar på.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC Focus Ring är en ringkomponent av hög renhet av kiselkarbid som är designad för att optimera plasmadistribution och enhetlighet i skivprocessen vid halvledartillverkning. Att välja Semicorex innebär att säkerställa konsekvent kvalitet, avancerad materialteknik och pålitlig prestanda som ledande halvledarfabriker över hela världen litar på.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex Wafer Edge-slipning Chuck är en keramisk disk tillverkad av hög renhet vit aluminiumoxid, designad för skivkantslipning i halvledartillverkning. Att välja Semicorex säkerställer överlägsen materialkvalitet, precisionsteknik och pålitlig prestanda som stöder de mest krävande skivbearbetningsmiljöerna.*
Läs merSkicka förfrågan