Kina Halvledarkomponenter Tillverkare, leverantörer, fabrik

Som professionell tillverkning vill vi ge dig halvledarkomponenter. Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.

SiC-belagda komponenter med hög renhet är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från grafittillbehör för kristalltillväxt heta zoner (värmare, degelsusceptorer, isolering) till högprecisionsgrafitkomponenter för waferbearbetningsutrustning, såsom kiselkarbidbelagda grafitsusceptorer för Epitaxi eller MOCVD.

Fördelar för halvledarprocesser

De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex levererar högren kiselkarbid (SiC) belagd grafitkonstruktion ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och beständighet.

Kammarlock →
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.

Sluteffektor →
Ändeffektor är robotens hand som flyttar halvledarskivor mellan positioner i waferbearbetningsutrustning och bärare.

Inloppsringar →
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.

Fokusring →
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.

Wafer Chuck →
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.