Med sin höga smältpunkt, oxidationsbeständighet och korrosionsbeständighet är Semicorex SiC-Coated Barrel Susceptor för LPE-tillväxt det perfekta valet för användning i enkristalltillväxtapplikationer. Dess kiselkarbidbeläggning ger exceptionella planhet och värmefördelningsegenskaper, vilket säkerställer pålitlig och konsekvent prestanda även i de mest krävande högtemperaturmiljöer.
Semicorex SiC-belagda fatsusceptor för LPE-tillväxt är en grafitprodukt av högsta kvalitet belagd med högrent SiC, designad speciellt för LPE-processer och andra halvledartillverkningstillämpningar. Dess exceptionella densitet och värmeledningsförmåga ger överlägsen värmefördelning och skydd i hög temperatur och korrosiva miljöer.
På Semicorex fokuserar vi på att tillhandahålla högkvalitativ, kostnadseffektiv SiC-belagd fatsusceptor för LPE-tillväxt, vi prioriterar kundnöjdhet och tillhandahåller kostnadseffektiva lösningar. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner, leverera högkvalitativa produkter och exceptionell kundservice.
Parametrar för SiC-belagd fatsusceptor för LPE-tillväxt
Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning |
||
SiC-CVD-egenskaper |
||
Kristallstruktur |
FCC β fas |
|
Densitet |
g/cm³ |
3.21 |
Hårdhet |
Vickers hårdhet |
2500 |
Kornstorlek |
μm |
2~10 |
Kemisk renhet |
% |
99.99995 |
Värmekapacitet |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimeringstemperatur |
℃ |
2700 |
Felexural styrka |
MPa (RT 4-punkts) |
415 |
Youngs modul |
Gpa (4pt böj, 1300â) |
430 |
Termisk expansion (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Värmeledningsförmåga |
(W/mK) |
300 |
Funktioner hos SiC-belagd fatsusceptor för LPE-tillväxt
- Både grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet har god densitet och kan spela en bra skyddande roll i högtemperatur- och korrosiva arbetsmiljöer.
- Kiselkarbidbelagd susceptor som används för enkristalltillväxt har en mycket hög ytplanhet.
- Minska skillnaden i termisk expansionskoefficient mellan grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet, förbättra bindningsstyrkan effektivt för att förhindra sprickbildning och delaminering.
- Både grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet har en hög värmeledningsförmåga och utmärkta värmefördelningsegenskaper.
- Hög smältpunkt, hög temperatur oxidationsbeständighet, korrosionsbeständighet.