SiC-belagd fatsusceptor

Med sin höga smältpunkt, oxidationsbeständighet och korrosionsbeständighet är Semicorex SiC-Coated Barrel Susceptor det perfekta valet för användning i enkristalltillväxtapplikationer. Dess kiselkarbidbeläggning ger exceptionell planhet och värmefördelningsegenskaper, vilket säkerställer pålitlig och konsekvent prestanda även i de mest krävande högtemperaturmiljöer.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Semicorex SiC-Coated Barrel Susceptor är en grafitprodukt av högsta kvalitet belagd med högrent SiC, designad speciellt för LPE-processer och andra halvledartillverkningstillämpningar. Dess exceptionella densitet och värmeledningsförmåga ger överlägsen värmefördelning och skydd i hög temperatur och korrosiva miljöer.
På Semicorex fokuserar vi på att tillhandahålla högkvalitativ, kostnadseffektiv SiC-Coated Barrel Susceptor, vi prioriterar kundnöjdhet och tillhandahåller kostnadseffektiva lösningar. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner, leverera högkvalitativa produkter och exceptionell kundservice.

Parametrar för SiC-belagd fatsusceptor

Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning
SiC-CVD-egenskaper
Kristallstruktur	FCC β-fas
Densitet	g/cm³	3.21
Hårdhet	Vickers hårdhet	2500
Kornstorlek	μm	2~10
Kemisk renhet	%	99.99995
Värmekapacitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Felexural styrka	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt böj, 1300 ℃)	430
Termisk expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Värmeledningsförmåga	(W/mK)	300

Egenskaper hos SiC-belagd fatsusceptor

- Både grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet har god densitet och kan spela en bra skyddande roll i högtemperatur- och korrosiva arbetsmiljöer.

- Kiselkarbidbelagd susceptor som används för enkristalltillväxt har en mycket hög ytplanhet.

- Minska skillnaden i termisk expansionskoefficient mellan grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet, förbättra bindningsstyrkan effektivt för att förhindra sprickbildning och delaminering.

- Både grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet har en hög värmeledningsförmåga och utmärkta värmefördelningsegenskaper.

- Hög smältpunkt, hög temperatur oxidationsbeständighet, korrosionsbeständighet.