SiC-belagd grafitfatsusceptor

Om du letar efter en högpresterande grafitsusceptor för användning i halvledartillverkning, är Semicorex SiC Coated Graphite Barrel Susceptor det perfekta valet. Dess exceptionella värmeledningsförmåga och värmefördelningsegenskaper gör den till det bästa valet för tillförlitlig och konsekvent prestanda i hög temperatur och korrosiva miljöer.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Semicorex SiC Coated Graphite Barrel Susceptor är det perfekta valet för halvledartillverkning som kräver exceptionell värmefördelning och värmeledningsförmåga. Dess högrena SiC-beläggning och överlägsna densitet ger överlägset skydd och värmefördelningsegenskaper, vilket säkerställer pålitlig och konsekvent prestanda även i de mest utmanande miljöer.

Vår SiC Coated Graphite Barrel Susceptor är designad för att uppnå det bästa laminära gasflödesmönstret, vilket säkerställer en jämn termisk profil. Detta hjälper till att förhindra kontaminering eller spridning av föroreningar, vilket säkerställer högkvalitativ epitaxiell tillväxt på waferchipset.

Kontakta oss idag för att lära dig mer om vår SiC Coated Graphite Barrel Susceptor.

Parametrar för SiC Coated Graphite Barrel Susceptor

Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning
SiC-CVD-egenskaper
Kristallstruktur	FCC β-fas
Densitet	g/cm³	3.21
Hårdhet	Vickers hårdhet	2500
Kornstorlek	μm	2~10
Kemisk renhet	%	99.99995
Värmekapacitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Felexural styrka	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt böj, 1300 ℃)	430
Termisk expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Värmeledningsförmåga	(W/mK)	300

Funktioner hos SiC Coated Graphite Barrel Susceptor

- Både grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet har god densitet och kan spela en bra skyddande roll i högtemperatur- och korrosiva arbetsmiljöer.

- Kiselkarbidbelagd susceptor som används för enkristalltillväxt har en mycket hög ytplanhet.

- Minska skillnaden i termisk expansionskoefficient mellan grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet, förbättra bindningsstyrkan effektivt för att förhindra sprickbildning och delaminering.

- Både grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet har en hög värmeledningsförmåga och utmärkta värmefördelningsegenskaper.

- Hög smältpunkt, hög temperatur oxidationsbeständighet, korrosionsbeständighet.