Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.
Keramiska komponenter av hög renhet av SiC är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från förbrukningsartiklar till utrustning för bearbetning av skivor, såsom silicon Carbide wafer båt, cantilever paddlar, rör, etc för Epitaxy eller MOCVD.
Fördelar för halvledarprocesser
De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex levererar konstruktion av kiselkarbid med hög renhet (SiC) ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och motståndskraft.
Kammarlock →
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.
Fribärande paddel →
Cantilever Paddle är en avgörande komponent som används i halvledartillverkningsprocesser, särskilt i diffusions- eller LPCVD-ugnar under processer som diffusion och RTP.
Processrör →
Process Tube är en avgörande komponent, speciellt designad för olika halvledarbehandlingstillämpningar som RTP, diffusion.
Waferbåtar →
Wafer Boat används i halvledarbearbetning, den har noggrant utformats för att säkerställa att de ömtåliga wafers hålls säkra under de kritiska stadierna av produktionen.
Inloppsringar →
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
Fokusring →
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.
Semicorex har även keramiska produkter i aluminiumoxid (Al2O3), kiselnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirkoniumoxid (ZrO2), kompositkeramik, etc.
Med superb hårdhet, utmärkt slitstyrka, anmärkningsvärt motstånd mot höga temperaturer och stark kemisk stabilitet har SSIC-tätningsringar blivit en oersättlig tätningslösning i moderna bearbetningsprocesser. Den kan vara helt kompatibel med utmanande komplexa arbetsförhållanden som hög temperatur, högt tryck och stark korrosion.
Läs merSkicka förfråganSemicorex Carbon Ceramic Discs är gjorda av ett avancerat material och används i bromssystem i motorcyklar, fordon och flygplan. Tack vare materialegenskaperna kan kolkeramiska skivor avsevärt öka livslängden och stabiliteten vid snabbkörning och relativt stärka säkerheten vid körning. Semicorex levererar högkvalitativa skräddarsydda kolkeramiska skivor baserade på kundernas behov.*
Läs merSkicka förfråganPolykristallin aluminiumfiberskiva är ett högpresterande eldfast plåtmaterial med utmärkt termisk chockbeständighet, stark korrosionsbeständighet och överlägsen oxidationsbeständighet. Denna eldfasta prestanda gör den allmänt använd i utmanande högtemperaturmiljöer, inklusive högtemperaturugnar, högtemperaturugnar, högtemperaturreaktorer, högtemperaturrörledningar, högtemperaturugnsdörrar, högtemperaturugnsväggar. Genom att välja Semicorex kommer du att dra nytta av mycket kostnadseffektiva priser, personliga en-till-en-anpassningstjänster och exceptionell produktkvalitet.
Läs merSkicka förfråganSemicorex zirconia fiberboard är ett optimalt lättviktigt eldfast fibermaterial med förmåga att motstå oxidativa miljöer i hög temperatur över 1500 ℃ under längre perioder. Med sin exceptionella motståndskraft mot höga temperaturer, låga värmeledningsförmåga och förbättrade kemiska stabilitet, fungerar den som en oklanderlig värmeisoleringslösning för att stödja tillverkningsprocesser i högtemperaturindustrisektorer.
Läs merSkicka förfråganTillverkade med noggrann uppmärksamhet på detaljer, anpassningsbara keramiska munstycken från Semicorex är den geniala lösningen för att kontrollera flödet av både gaser och vätskor med oöverträffad enhetlighet och precision. Semicorex ser fram emot din fortsatta konsultation.
Läs merSkicka förfråganSemicorex Silicon Nitride Tube är tillverkad av högpresterande Si3N4-material, prestanda för styrka, hårdhet, värmeledningsförmåga är trovärdig. Semicorex har åtagit sig att leverera kvalificerade produkter över hela världen.*
Läs merSkicka förfrågan