Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.
Keramiska komponenter av hög renhet av SiC är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från förbrukningsartiklar till utrustning för bearbetning av skivor, såsom silicon Carbide wafer båt, cantilever paddlar, rör, etc för Epitaxy eller MOCVD.
Fördelar för halvledarprocesser
De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex levererar konstruktion av kiselkarbid med hög renhet (SiC) ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och motståndskraft.
Kammarlock →
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.
Fribärande paddel →
Cantilever Paddle är en avgörande komponent som används i halvledartillverkningsprocesser, särskilt i diffusions- eller LPCVD-ugnar under processer som diffusion och RTP.
Processrör →
Process Tube är en avgörande komponent, speciellt designad för olika halvledarbehandlingstillämpningar som RTP, diffusion.
Waferbåtar →
Wafer Boat används i halvledarbearbetning, den har noggrant utformats för att säkerställa att de ömtåliga wafers hålls säkra under de kritiska stadierna av produktionen.
Inloppsringar →
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
Fokusring →
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.
Semicorex har även keramiska produkter i aluminiumoxid (Al2O3), kiselnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirkoniumoxid (ZrO2), kompositkeramik, etc.
Semicorex SiC keramiska fribärande paddlar är högpresterande komponenter designade för termiska bearbetningsugnar som används inom områden som halvledar- och fotovoltaiska celltillverkning. Semicorex väljer noggrant kiselkarbidmaterial av hög renhet och använder branschledande precisionstillverkningsprocesser, och ser fram emot ditt köp med våra högkvalitativa produkter och tjänster.
Läs merSkicka förfråganSemicorex keramiska elektrostatiska chuckar är precisionskomponenter för elektrostatisk adsorption gjorda av högpresterande aluminiumoxid- och aluminiumnitridkeramik, som använder principen om elektrostatisk adsorption för att klämma och fixera wafers. Det används i stor utsträckning inom halvledartillverkning. Semicorex har avancerad teknologi, högkvalitativa material och kostnadseffektiva produkter. Vi ser fram emot att bli din pålitliga leveranspartner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex aluminiumoxid keramisk manipulator är en högpresterande komponent för halvledarutrustning gjord av aluminiumoxid med hög renhet, konstruerad speciellt för exakt hantering av kontamineringsfria wafers. Denna manipulator har egenskaperna exceptionell renhet, överlägsen stabilitet, hög precision, ökad effektivitet och pålitlig prestanda, vilket gör den till ditt idealiska val.
Läs merSkicka förfråganSemicorex PV-användning SiC-båtar är högtemperaturbeständiga behållare, speciellt använda för att hålla och transportera kiselskivor genom hela produktionsprocessen för solceller. Semicorex, ditt perfekta val.
Läs merSkicka förfråganSemicorex kiselnitridplattor är höghållfast keramiska underlag utformade för att leverera exceptionell termisk prestanda och mekanisk tillförlitlighet för avancerade kraftmoduler. Att välja Semicorex innebär att dra nytta av precisionstillverkning, strikt kvalitetskontroll och materialteknikkompetens som säkerställer konsekvent prestanda även i de mest krävande applikationerna.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex SIC vertikala båtar är högpresterande skivbärare konstruerade för användning i vertikala ugnsprocesser, vilket erbjuder exceptionell stabilitet, renlighet och hållbarhet. Välj Semicorex för kompromisslös kvalitet, precisionstillverkning och bevisad tillförlitlighet i halvledarens termiska bearbetning.*
Läs merSkicka förfrågan