Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.
Keramiska komponenter av hög renhet av SiC är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från förbrukningsartiklar till utrustning för bearbetning av skivor, såsom kiselkarbidskiva, fribärande paddlar, rör, etc för Epitaxy eller MOCVD.
Fördelar för halvledarprocesser
De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex levererar konstruktion av kiselkarbid med hög renhet (SiC) ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och motståndskraft.
Kammarlock →
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.
Fribärande paddel →
Cantilever Paddle är en avgörande komponent som används i halvledartillverkningsprocesser, särskilt i diffusions- eller LPCVD-ugnar under processer som diffusion och RTP.
Processrör →
Process Tube är en avgörande komponent, speciellt designad för olika halvledarbearbetningsapplikationer som RTP, diffusion.
Waferbåtar →
Wafer Boat används i halvledarbearbetning, den har noggrant utformats för att säkerställa att de ömtåliga wafers hålls säkra under de kritiska stadierna av produktionen.
Inloppsringar →
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
Fokusring →
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.
Semicorex har även keramiska produkter i aluminiumoxid (Al2O3), kiselnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirkoniumoxid (ZrO2), kompositkeramik, etc.
Semicorex SiC ICP-platta är en avancerad halvledarkomponent speciellt framtagen för att möta de rigorösa kraven från moderna halvledartillverkningsprocesser. Denna högpresterande produkt är designad med den senaste kiselkarbid-materialteknologin (SiC) och erbjuder oöverträffad hållbarhet, effektivitet och tillförlitlighet, vilket gör den till en viktig komponent i tillverkningen av banbrytande halvledarenheter. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina*.
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC ICP Etching Plate är en avancerad och oumbärlig komponent i halvledarindustrin, designad för att förbättra precisionen och effektiviteten i etsningsprocesser. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina*.
Läs merSkicka förfråganSemicorex Alumina End Effector har dykt upp som ett oumbärligt verktyg i den krävande halvledartillverkningen, där till och med mikroskopiska brister kan äventyra enhetens prestanda, rollen av precisionswaferhantering kan inte överskattas. Alumina End Effector ger en unik kombination av precision, renhet och hållbarhet som är avgörande för att manipulera känsliga kiselwafers genom olika tillverkningsprocesser.**
Läs merSkicka förfråganSemicorex Custom SiC Cantilever Paddle har blivit en oumbärlig komponent i solcellsindustrin, och spelar en avgörande roll i den effektiva och exakta hanteringen av kiselskivor under högtemperaturdiffusionsprocesser. Custom SiC Cantilever Paddle, noggrant konstruerad av högpresterande kiselkarbid (SiC) keramik, erbjuder en unik blandning av egenskaper som är nödvändiga för att bibehålla skivans integritet, säkerställa processlikformighet och maximera produktiviteten i krävande diffusionsugnsmiljöer.**
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC-lager har med sin exceptionella hårdhet, styrka och kemiska tröghet framstått som ett hörnstensmaterial för tekniska krävande tillämpningar inom olika industrier. När SiC tillverkas i lager låser SiC upp en ny nivå av prestanda och tillförlitlighet, särskilt i miljöer som kännetecknas av extrema temperaturer, frätande ämnen och stränga renhetskrav. Vi på Semicorex är dedikerade till att tillverka och leverera högpresterande SiC-lager som förenar kvalitet med kostnadseffektivitet.**
Läs merSkicka förfråganSemicorex kiselkarbidtätningsring har dykt upp som en kritisk möjliggörande teknologi inom halvledarindustrin, som erbjuder oöverträffad prestanda och tillförlitlighet inför allt mer krävande processförhållanden. Deras unika kombination av materialegenskaper gör den idealisk för ett brett spektrum av applikationer, vilket säkerställer optimal utrustningsdrifttid, förlängda komponentlivscykler och i slutändan lägre totala ägandekostnader. Vi på Semicorex är dedikerade till att tillverka och leverera högpresterande tätningsringar av kiselkarbid som förenar kvalitet med kostnadseffektivitet.**
Läs merSkicka förfrågan