Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.
Keramiska komponenter av hög renhet av SiC är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från förbrukningsartiklar till utrustning för bearbetning av skivor, såsom silicon Carbide wafer båt, cantilever paddlar, rör, etc för Epitaxy eller MOCVD.
Fördelar för halvledarprocesser
De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex levererar konstruktion av kiselkarbid med hög renhet (SiC) ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och motståndskraft.
Kammarlock →
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.
Fribärande paddel →
Cantilever Paddle är en avgörande komponent som används i halvledartillverkningsprocesser, särskilt i diffusions- eller LPCVD-ugnar under processer som diffusion och RTP.
Processrör →
Process Tube är en avgörande komponent, speciellt designad för olika halvledarbehandlingstillämpningar som RTP, diffusion.
Waferbåtar →
Wafer Boat används i halvledarbearbetning, den har noggrant utformats för att säkerställa att de ömtåliga wafers hålls säkra under de kritiska stadierna av produktionen.
Inloppsringar →
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
Fokusring →
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.
Semicorex har även keramiska produkter i aluminiumoxid (Al2O3), kiselnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirkoniumoxid (ZrO2), kompositkeramik, etc.
Semicorex kiselkarbidbåtar är högpresterande skivbärare designade för halvledaroxidation och diffusionsprocesser. Dessa precisionskonstruerade komponenter ger en stabil miljö med hög renhet för kiselskivor inuti ugnsrör, vilket säkerställer optimal tillförlitlighet och effektivitet. *
Läs merSkicka förfråganSemicorex kol keramiska bromsbelägg ger exceptionell styrka, värmemotstånd och pålitlig bromsprestanda under alla förhållanden, vilket gör dem till det ideala valet för högpresterande fordon, motorsport, luftfart och motorcyklar. *
Läs merSkicka förfråganSemicorex C/SIC-bromsar erbjuder en lätt, högpresterande bromslösning med exceptionell värmebeständighet, hållbarhet och konsekvent prestanda, vilket gör dem idealiska för fordon och flyg- och rymdansökningar.
Läs merSkicka förfråganSemicorex Sic Ceramic Membrane är en idealisk lösning för branscher som kräver effektiv, hållbar och exakt filtrering. Att välja Semicorex innebär att samarbeta med en pålitlig expert som är engagerad i att tillhandahålla högkvalitativ keramisk membranteknik, innovativa lösningar och utmärkt kundsupport.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex Sic Membranes är högpresterande keramiska filtreringslösningar utformade för att möta de mest krävande industriella tillämpningarna med exceptionell hållbarhet, kemisk resistens och termisk stabilitet. Som ledande inom avancerad materialteknik fortsätter Semicorex att driva gränserna för innovation och leverera SIC-membran av överlägsen kvalitet som sätter nya industristandarder.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex C/C-SIC bromsskivor ger den perfekta balansen mellan styrka, hållbarhet och värmemotstånd, vilket gör dem till det ultimata valet för högpresterande bromssystem. Semicorex fortsätter att leda branschen med sin banbrytande material och teknisk expertis och levererar överlägsna lösningar som omdefinierar bromstekniken.*
Läs merSkicka förfrågan