Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.
Keramiska komponenter av hög renhet av SiC är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från förbrukningsartiklar till utrustning för bearbetning av skivor, såsom silicon Carbide wafer båt, cantilever paddlar, rör, etc för Epitaxy eller MOCVD.
Fördelar för halvledarprocesser
De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex levererar konstruktion av kiselkarbid med hög renhet (SiC) ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och motståndskraft.
Kammarlock →
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.
Fribärande paddel →
Cantilever Paddle är en avgörande komponent som används i halvledartillverkningsprocesser, särskilt i diffusions- eller LPCVD-ugnar under processer som diffusion och RTP.
Processrör →
Process Tube är en avgörande komponent, speciellt designad för olika halvledarbehandlingstillämpningar som RTP, diffusion.
Waferbåtar →
Wafer Boat används i halvledarbearbetning, den har noggrant utformats för att säkerställa att de ömtåliga wafers hålls säkra under de kritiska stadierna av produktionen.
Inloppsringar →
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
Fokusring →
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.
Semicorex har även keramiska produkter i aluminiumoxid (Al2O3), kiselnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirkoniumoxid (ZrO2), kompositkeramik, etc.
Semicorex Silicon Carbide Flat Membrane är en högpresterande keramisk filtreringslösning känd för dess exceptionella kemiska resistens, termisk stabilitet och överlägsen filtreringseffektivitet. Att välja Semicorex innebär att välja branschledande teknik med stöd av banbrytande tillverkningsprocesser och ett åtagande att leverera pålitliga, kostnadseffektiva lösningar som möter de tuffaste filtreringsutmaningarna.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex kiselkarbidkompositmembran är en avancerad filtreringslösning som kombinerar de överlägsna egenskaperna hos kiselkarbid, aluminiumoxid och kalciumoxid för att leverera högpresterande filtrering över ett brett utbud av industrier. Semicorex är det pålitliga valet för denna banbrytande teknik och erbjuder oöverträffad kvalitet, tillförlitlighet och skräddarsydda lösningar som säkerställer optimal effektivitet och långsiktig prestanda för dina filtreringsbehov.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex kiselkarbidmembran är avancerade filtreringslösningar som erbjuder överlägsna kemiska, termiska och mekaniska motstånd, idealiska för krävande industriella tillämpningar. Välj Semicorex för våra högkvalitativa, hållbara membran som ger långvarig prestanda, effektivitet och tillförlitlighet, vilket säkerställer optimala resultat i varje filtreringsprocess.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex Sic Membrane är en högpresterande keramisk filtreringslösning tillverkad av kiselkarbid med hög renhet, utformad för att utmana industriella filtreringsapplikationer. Välj Semicorex för pålitliga, hållbara och effektiva SIC-membran som ger exceptionell prestanda och långsiktigt värde i även de mest krävande miljöerna.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex vakuumchuckar är den perfekta lösningen för skivhantering inom halvledar- och precisionsindustrier. Med en mängd olika basmaterialalternativ, anpassningar av keramiska plattor och exakt planhetskontroll, säkerställer våra vakuumchucks tillförlitlig skivstabilitet och utmärkta processresultat. Dessa chucks är utformade för att möta de stränga kraven från modern halvledartillverkning och levererar oöverträffad prestanda och säkerställer att dina processer förblir effektiva och kostnadseffektiva.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex Porous Sic Vacuum Chuck är designad för exakt och pålitlig skivhantering, och erbjuder anpassningsbara materialalternativ för att tillgodose ett brett utbud av halvledarbearbetningsbehov. Välj Semicorex för sitt engagemang för högkvalitativa, hållbara lösningar som ger optimal prestanda och effektivitet i varje applikation.*
Läs merSkicka förfrågan