Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.
Keramiska komponenter av hög renhet av SiC är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från förbrukningsartiklar till utrustning för bearbetning av skivor, såsom silicon Carbide wafer båt, cantilever paddlar, rör, etc för Epitaxy eller MOCVD.
Fördelar för halvledarprocesser
De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex levererar konstruktion av kiselkarbid med hög renhet (SiC) ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och motståndskraft.
Kammarlock →
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.
Fribärande paddel →
Cantilever Paddle är en avgörande komponent som används i halvledartillverkningsprocesser, särskilt i diffusions- eller LPCVD-ugnar under processer som diffusion och RTP.
Processrör →
Process Tube är en avgörande komponent, speciellt designad för olika halvledarbehandlingstillämpningar som RTP, diffusion.
Waferbåtar →
Wafer Boat används i halvledarbearbetning, den har noggrant utformats för att säkerställa att de ömtåliga wafers hålls säkra under de kritiska stadierna av produktionen.
Inloppsringar →
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
Fokusring →
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.
Semicorex har även keramiska produkter i aluminiumoxid (Al2O3), kiselnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirkoniumoxid (ZrO2), kompositkeramik, etc.
Semicorex Sic Vacuum Chucks är högpresterande keramisk fixtur utformad för säker skivadsorption vid halvledartillverkning. Med överlägsna termiska, mekaniska och kemiska egenskaper garanterar det stabilitet och precision i krävande processmiljöer.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex PBN-kompositvärmare är avancerade värmelement som är konstruerade för högtemperatur, ultra-rena vakuummiljöer, allmänt används inom halvledare, optoelektronik och materialforskningsindustri. Välj Semicorex för branschledande expertis, anpassning av små satser och kvalitet i världsklass i PBN-uppvärmningslösningar.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex Sic Cantilever-paddlar är högpresterande kiselkarbidkantilver paddlar som används i halvledarens termiska bearbetningsutrustning, konstruerad för stabil skivhantering i miljöer med hög temperatur. Att välja Semicorex innebär att välja material med hög renhet, utmärkt termisk stabilitet och industriledande precisionstillverkningsteknik för att säkerställa att varje kritisk process är stabil och pålitlig.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex SIC -båthållare är väsentliga strukturella komponenter som säkerställer exakt och pålitlig skivpositionering vid halvledarens termiska bearbetning. Välj Semicorex för oöverträffad kvalitet, teknisk expertis och ett åtagande att främja SIC-lösningar med hög renhet inom halvledartillverkning.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex-skivbåtar är precisionskonstruerade keramiska bärare designade för hög temperaturskiva bearbetning vid tillverkning av halvledartillverkning. Välj Semicorex för dess oöverträffade materiella renhet, avancerad tillverkningsteknik och engagemang för kvalitet som säkerställer konsekvent prestanda i de mest krävande renrumsmiljöerna.*
Läs merSkicka förfråganSEMICOREX SIC-rör är kiselkarbidugnrör designade för halvledarhögtemperaturprocesser, med utmärkt termisk stabilitet och kemisk korrosionsbeständighet. Att välja Semicorex råvaror med hög renhet, precisionstillverkningsprocesser och långsiktiga tillförlitlighetsgarantier för att ge solidt stöd för din halvledarprocess.**
Läs merSkicka förfrågan