Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.
Keramiska komponenter av hög renhet av SiC är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från förbrukningsartiklar till utrustning för bearbetning av skivor, såsom silicon Carbide wafer båt, cantilever paddlar, rör, etc för Epitaxy eller MOCVD.
Fördelar för halvledarprocesser
De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex levererar konstruktion av kiselkarbid med hög renhet (SiC) ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och motståndskraft.
Kammarlock →
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.
Fribärande paddel →
Cantilever Paddle är en avgörande komponent som används i halvledartillverkningsprocesser, särskilt i diffusions- eller LPCVD-ugnar under processer som diffusion och RTP.
Processrör →
Process Tube är en avgörande komponent, speciellt designad för olika halvledarbehandlingstillämpningar som RTP, diffusion.
Waferbåtar →
Wafer Boat används i halvledarbearbetning, den har noggrant utformats för att säkerställa att de ömtåliga wafers hålls säkra under de kritiska stadierna av produktionen.
Inloppsringar →
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
Fokusring →
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.
Semicorex har även keramiska produkter i aluminiumoxid (Al2O3), kiselnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirkoniumoxid (ZrO2), kompositkeramik, etc.
Semicorex CCB-bromsar (kol-keramiska bromsar med belagt friktionsskikt) representerar nästa generation av högpresterande bromslösningar, konstruerade för extrem hållbarhet, termisk stabilitet och konsekvent bromsning under de mest krävande förhållandena. Välj Semicorex för sin expertis inom avancerade keramiska kompositer och precisionskonstruerade beläggningstekniker.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex CCM-bromsar, tillverkade av avancerade kol-keramiska matrismaterial, är den perfekta lösningen för högpresterande bromsning i extrema körmiljöer. Välj Semicorex för vår oöverträffade expertis inom keramisk kompositteknik, precisionstillverkning och engagemang för att leverera konsekvent, rasprövad kvalitet.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex keramiska kompositvärmare levererar ultra-ren, högeffektiv värmeprestanda för att kräva högtemperaturapplikationer. Välj Semicorex för branschledande materiell renhet, precisionsteknik och pålitlig anpassning som stöds av år av expertis inom avancerad keramisk teknik.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex PBN-värmare erbjuder ultra-ren, högtemperaturprestanda idealisk för halvledare, kristalltillväxt och vakuumapplikationer. Välj Semicorex för oöverträffad materiell renhet, teknisk precision och pålitlig leverans litar på av ledande globala tillverkare.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex sic keramiska båtar ger en optimal kombination av renhet, styrka, termisk motstånd och dimensionell noggrannhet som krävs för de stränga kraven från modern halvledarbeklädnadsbehandling. *
Läs merSkicka förfråganSEMICOREX SIC Robot Hands är högprecision, ultrera rena sluteffektorer utformade för säker och pålitlig skivöverföring i halvledarproduktion. KOSE SEMICOREX för branschledande expertis inom avancerad keramik, levererar överlägsen prestanda, renhet och anpassning som är förtroende av topp semiconductor fabs världen över.**
Läs merSkicka förfrågan