Semicorex Silicon Carbide-Coated Graphite Barrel är det perfekta valet för halvledartillverkning som kräver hög värme- och korrosionsbeständighet. Dess exceptionella värmeledningsförmåga och värmefördelningsegenskaper gör den idealisk för användning i LPE-processer och andra högtemperaturmiljöer.
När det kommer till halvledartillverkning är Semicorex Silicon Carbide-Coated Graphite Barrel det bästa valet för exceptionell prestanda och tillförlitlighet. Dess högkvalitativa SiC-beläggning och överlägsna densitet och värmeledningsförmåga ger överlägsen värmefördelning och skydd även i de mest utmanande högtemperatur- och korrosiva miljöer.
Vår kiselkarbidbelagda grafitfat säkerställer en jämn termisk profil, vilket garanterar det bästa laminära gasflödesmönstret. Det förhindrar föroreningar eller föroreningar från att diffundera in i skivan, vilket gör den idealisk för användning i renrumsmiljöer. Semicorex är en storskalig tillverkare och leverantör av SiC Coated Graphite Susceptor i Kina, och våra produkter har en bra prisfördel. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner inom halvledarindustrin.
Parametrar för kiselkarbidbelagd grafitfat
Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning |
||
SiC-CVD-egenskaper |
||
Kristallstruktur |
FCC β fas |
|
Densitet |
g/cm³ |
3.21 |
Hårdhet |
Vickers hårdhet |
2500 |
Kornstorlek |
μm |
2~10 |
Kemisk renhet |
% |
99.99995 |
Värmekapacitet |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimeringstemperatur |
℃ |
2700 |
Felexural styrka |
MPa (RT 4-punkts) |
415 |
Youngs modul |
Gpa (4pt böj, 1300â) |
430 |
Termisk expansion (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Värmeledningsförmåga |
(W/mK) |
300 |
Funktioner hos kiselkarbidbelagd grafitfat
- Både grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet har god densitet och kan spela en bra skyddande roll i högtemperatur- och korrosiva arbetsmiljöer.
- Kiselkarbidbelagd susceptor som används för enkristalltillväxt har en mycket hög ytplanhet.
- Minska skillnaden i termisk expansionskoefficient mellan grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet, förbättra bindningsstyrkan effektivt för att förhindra sprickbildning och delaminering.
- Både grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet har en hög värmeledningsförmåga och utmärkta värmefördelningsegenskaper.
- Hög smältpunkt, hög temperatur oxidationsbeständighet, korrosionsbeständighet.