> Produkter > Silikonkarbidbelagd > MOCVD-susceptor > MOCVD-susceptor för epitaxiell tillväxt

Produkter

Nya produkter

MOCVD-susceptor för epitaxiell tillväxt

Semicorex är en ledande leverantör och tillverkare av MOCVD Susceptor for Epitaxial Growth. Vår produkt används i stor utsträckning i halvledarindustrier, särskilt vid tillväxten av det epitaxiella lagret på waferchipset. Vår susceptor är designad för att användas som mittplatta i MOCVD, med en kugg- eller ringformad design. Produkten har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket gör den stabil i extrema miljöer.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

En av fördelarna med vår MOCVD-susceptor för epitaxiell tillväxt är dess förmåga att säkerställa beläggning på alla ytor, vilket undviker avflagning. Produkten har hög temperatur oxidationsbeständighet, vilket säkerställer stabilitet vid höga temperaturer upp till 1600°C. Den höga renheten hos vår produkt uppnås genom CVD kemisk ångavsättning under högtemperaturkloreringsförhållanden. Den täta ytan med fina partiklar säkerställer att produkten är mycket motståndskraftig mot korrosion från syra, alkali, salt och organiska reagenser.
Vår MOCVD-susceptor för epitaxiell tillväxt är designad för att uppnå det bästa laminära gasflödesmönstret, vilket säkerställer en jämn termisk profil. Detta hjälper till att förhindra kontaminering eller spridning av föroreningar, vilket säkerställer högkvalitativ epitaxiell tillväxt på waferchipset.
Kontakta oss idag för att lära dig mer om vår MOCVD-susceptor för epitaxiell tillväxt.

Parametrar för MOCVD-susceptor för epitaxiell tillväxt

Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning
SiC-CVD-egenskaper
Kristallstruktur	FCC Î² fas
Densitet	g/cm³	3.21
Hårdhet	Vickers hårdhet	2500
Kornstorlek	Î¼m	2~10
Kemisk renhet	%	99.99995
Värmekapacitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Felexural styrka	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt böj, 1300â)	430
Termisk expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Värmeledningsförmåga	(W/mK)	300

Funktioner hos MOCVD-susceptor för epitaxiell tillväxt

- Undvik att skala av och säkerställ beläggning på alla ytor
Oxidationsbeständighet vid hög temperatur: Stabil vid höga temperaturer upp till 1600°C
Hög renhet: tillverkad av CVD kemisk ångavsättning under högtemperaturkloreringsförhållanden.
Korrosionsbeständighet: hög hårdhet, tät yta och fina partiklar.
Korrosionsbeständighet: syra, alkali, salt och organiska reagenser.
- Uppnå det bästa laminära gasflödesmönstret
- Garanterar jämnhet av termisk profil
- Förhindra all kontaminering eller spridning av föroreningar