SiC-belagd grafitsusceptor för MOCVD

Semicorex SiC Coated Graphite Susceptor för MOCVD är en kiselkarbidbelagd grafitbärare med hög renhet, som i processen används för att växa det epixiala lagret på waferchipset. Det är mittplattan i MOCVD, formen av kugghjul eller ring. SiC Coated Graphite Susceptor för MOCVD har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
På Semicorex är vi fast beslutna att tillhandahålla högkvalitativa produkter och tjänster till våra kunder. Vi använder endast de bästa materialen och våra produkter är designade för att uppfylla de högsta standarderna för kvalitet och prestanda. Vår SiC-belagda grafitsusceptor för MOCVD är inget undantag. Kontakta oss idag för att lära dig mer om hur vi kan hjälpa dig med dina behov för bearbetning av halvledarskivor.

Parametrar för SiC-belagd grafitsusceptor för MOCVD

Funktioner hos SiC-belagd grafitsusceptor för MOCVD

- Undvik att skala av och säkerställ beläggning på alla ytor
Oxidationsbeständighet vid hög temperatur: Stabil vid höga temperaturer upp till 1600°C
Hög renhet: tillverkad av CVD kemisk ångavsättning under högtemperaturkloreringsförhållanden.
Korrosionsbeständighet: hög hårdhet, tät yta och fina partiklar.
Korrosionsbeständighet: syra, alkali, salt och organiska reagenser.
- Uppnå det bästa laminära gasflödesmönstret
- Garanterar jämnhet av termisk profil
- Förhindra all kontaminering eller spridning av föroreningar