> Produkter > Silikonkarbidbelagd > MOCVD-susceptor > MOCVD Cover Star Disc Plate för wafer epitaxi

Produkter

Nya produkter

MOCVD Cover Star Disc Plate för wafer epitaxi

Semicorex är en känd tillverkare och leverantör av högkvalitativ MOCVD Cover Star Disc Plate för Wafer Epitaxy. Vår produkt är speciellt utformad för att tillgodose behoven hos halvledarindustrin, särskilt när det gäller att odla det epitaxiella lagret på waferchipset. Vår susceptor används som mittplatta i MOCVD, med en kugghjuls- eller ringformad design. Produkten är mycket motståndskraftig mot hög värme och korrosion, vilket gör den idealisk för användning i extrema miljöer.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Vår MOCVD Cover Star Disc Plate för Wafer Epitaxy är en utmärkt produkt som säkerställer beläggning på alla ytor och på så sätt undviker att skala av. Den har en hög temperatur oxidationsbeständighet som säkerställer stabilitet även vid höga temperaturer på upp till 1600°C. Produkten är tillverkad med hög renhet genom CVD kemisk ångavsättning under högtemperaturkloreringsförhållanden. Den har en tät yta med fina partiklar, vilket gör den mycket motståndskraftig mot korrosion från syra, alkali, salt och organiska reagenser.
Vår MOCVD Cover Star Disc Plate för Wafer Epitaxy garanterar det bästa laminära gasflödesmönstret, vilket säkerställer en jämn termisk profil. Det förhindrar all kontaminering eller spridning av föroreningar, vilket säkerställer högkvalitativ epitaxiell tillväxt på waferchipset. Vår produkt är konkurrenskraftigt prissatt, vilket gör den tillgänglig för många kunder. Vi täcker många av de europeiska och amerikanska marknaderna, och vårt team är dedikerade till att ge utmärkt kundservice och support. Vi strävar efter att bli din långsiktiga partner för att tillhandahålla högkvalitativ och pålitlig MOCVD Cover Star Disc Plate för Wafer Epitaxy.

Parametrar för MOCVD Cover Star Disc Plate för wafer epitaxi

Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning
SiC-CVD-egenskaper
Kristallstruktur	FCC Î² fas
Densitet	g/cm³	3.21
Hårdhet	Vickers hårdhet	2500
Kornstorlek	Î¼m	2~10
Kemisk renhet	%	99.99995
Värmekapacitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Felexural styrka	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt böj, 1300â)	430
Termisk expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Värmeledningsförmåga	(W/mK)	300

Funktioner hos MOCVD Cover Star Disc Plate för wafer epitaxi

- Undvik att skala av och säkerställ beläggning på alla ytor
Oxidationsbeständighet vid hög temperatur: Stabil vid höga temperaturer upp till 1600°C
Hög renhet: tillverkad av CVD kemisk ångavsättning under högtemperaturkloreringsförhållanden.
Korrosionsbeständighet: hög hårdhet, tät yta och fina partiklar.
Korrosionsbeständighet: syra, alkali, salt och organiska reagenser.
- Uppnå det bästa laminära gasflödesmönstret
- Garanterar jämnhet av termisk profil
- Förhindra all kontaminering eller spridning av föroreningar