> Produkter > Silikonkarbidbelagd > MOCVD-acceptor > SiC-belagd MOCVD-grafitsatellitplattform

Produkter

Nya produkter

SiC-belagd MOCVD-grafitsatellitplattform

Semicorex är en ansedd leverantör och tillverkare av SiC Coated MOCVD Graphite Satellite Platform. Vår produkt är speciellt utformad för att tillgodose behoven hos halvledarindustrin när det gäller att odla det epitaxiella lagret på waferchipset. Produkten används som mittplatta i MOCVD, med kugghjul eller ringformad design. Den har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket gör den idealisk för användning i extrema miljöer.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

En av de viktigaste egenskaperna hos vår SiC-belagda MOCVD-grafitsatellitplattform är dess förmåga att säkerställa beläggning på alla ytor, så att man undviker att lossna. Den har oxidationsbeständighet vid hög temperatur, vilket säkerställer stabilitet även vid höga temperaturer på upp till 1600°C. Produkten är tillverkad med hög renhet genom CVD kemisk ångavsättning under högtemperaturkloreringsförhållanden. Den har en tät yta med fina partiklar, vilket gör den mycket motståndskraftig mot korrosion från syra, alkali, salt och organiska reagenser.
Vår SiC-belagda MOCVD grafitsatellitplattform är designad för att garantera det bästa laminära gasflödesmönstret, vilket säkerställer en jämn termisk profil. Det förhindrar all kontaminering eller spridning av föroreningar, vilket säkerställer högkvalitativ epitaxiell tillväxt på waferchipset. Vi erbjuder konkurrenskraftiga priser för vår produkt, vilket gör den tillgänglig för många kunder. Vårt team är dedikerade till att ge utmärkt kundservice och support. Vi täcker många av de europeiska och amerikanska marknaderna, och vi strävar efter att bli din långsiktiga partner för att tillhandahålla högkvalitativ och pålitlig SiC-belagd MOCVD-grafitsatellitplattform. Kontakta oss idag för att lära dig mer om vår produkt.

Parametrar för SiC Coated MOCVD Graphite Satellite Platform

Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning
SiC-CVD-egenskaper
Kristallstruktur	FCC β-fas
Densitet	g/cm³	3.21
Hårdhet	Vickers hårdhet	2500
Kornstorlek	μm	2~10
Kemisk renhet	%	99.99995
Värmekapacitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Felexural styrka	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt böj, 1300 ℃)	430
Termisk expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Värmeledningsförmåga	(W/mK)	300

Funktioner hos SiC-belagd MOCVD-grafitsatellitplattform

- Undvik att skala av och säkerställ beläggning på alla ytor
Oxidationsbeständighet vid hög temperatur: Stabil vid höga temperaturer upp till 1600°C
Hög renhet: tillverkad av CVD kemisk ångavsättning under högtemperaturkloreringsförhållanden.
Korrosionsbeständighet: hög hårdhet, tät yta och fina partiklar.
Korrosionsbeständighet: syra, alkali, salt och organiska reagenser.
- Uppnå det bästa laminära gasflödesmönstret
- Garanterar jämnhet av termisk profil
- Förhindra all kontaminering eller spridning av föroreningar