SiC-susceptor för MOCVD

Semicorex är en ledande tillverkare och leverantör av SiC Susceptor för MOCVD. Vår produkt är speciellt utformad för att tillgodose behoven hos halvledarindustrin när det gäller att odla det epitaxiella lagret på waferchipset. Produkten används som mittplatta i MOCVD, med kugghjul eller ringformad design. Den har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket gör den idealisk för användning i extrema miljöer.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Vår SiC-susceptor för MOCVD är en högkvalitativ produkt som har flera nyckelfunktioner. Den säkerställer beläggning på alla ytor, undviker att lossna och har oxidationsbeständighet vid hög temperatur, vilket säkerställer stabilitet även vid höga temperaturer på upp till 1600°C. Produkten är tillverkad med hög renhet genom CVD kemisk ångavsättning under högtemperaturkloreringsförhållanden. Den har en tät yta med fina partiklar, vilket gör den mycket motståndskraftig mot korrosion från syra, alkali, salt och organiska reagenser.
Vår SiC-susceptor för MOCVD är designad för att garantera det bästa laminära gasflödesmönstret, vilket säkerställer en jämn termisk profil. Det förhindrar all kontaminering eller spridning av föroreningar, vilket säkerställer högkvalitativ epitaxiell tillväxt på waferchipset.

Parametrar för SiC-susceptor för MOCVD

Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning
SiC-CVD-egenskaper
Kristallstruktur	FCC β-fas
Densitet	g/cm³	3.21
Hårdhet	Vickers hårdhet	2500
Kornstorlek	μm	2~10
Kemisk renhet	%	99.99995
Värmekapacitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Felexural styrka	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt böj, 1300 ℃)	430
Termisk expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Värmeledningsförmåga	(W/mK)	300

Funktioner hos SiC-susceptor för MOCVD

- Undvik att skala av och säkerställ beläggning på alla ytor
Oxidationsbeständighet vid hög temperatur: Stabil vid höga temperaturer upp till 1600°C
Hög renhet: tillverkad av CVD kemisk ångavsättning under högtemperaturkloreringsförhållanden.
Korrosionsbeständighet: hög hårdhet, tät yta och fina partiklar.
Korrosionsbeständighet: syra, alkali, salt och organiska reagenser.
- Uppnå det bästa laminära gasflödesmönstret
- Garanterar jämnhet av termisk profil
- Förhindra all kontaminering eller spridning av föroreningar