> Produkter > Silikonkarbidbelagd > MOCVD-susceptor > MOCVD Planet Susceptor för halvledare

Produkter

Nya produkter

MOCVD Planet Susceptor för halvledare

Semicorex är ett pålitligt namn inom halvledarindustrin som tillhandahåller högkvalitativ MOCVD Planet Susceptor for Semiconductor. Vår produkt är designad för att möta de specifika behoven hos halvledartillverkare som letar efter en bärare som kan leverera utmärkt prestanda, stabilitet och hållbarhet. Kontakta oss idag för att lära dig mer om vår produkt och hur vi kan hjälpa dig med dina behov av halvledartillverkning.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Vår MOCVD Planet Susceptor for Semiconductor har oxidationsmotstånd vid hög temperatur, vilket säkerställer dess stabilitet vid höga temperaturer upp till 1600°C. Den är också mycket ren, tillverkad av CVD kemisk ångavsättning under högtemperaturkloreringsförhållanden, vilket säkerställer produktens enhetlighet och konsistens, jämn termisk profil och laminärt gasflödesmönster.
Kontakta oss idag för att lära dig mer om vår MOCVD Planet Susceptor for Semiconductor.

Parametrar för MOCVD Planet Susceptor för halvledare

Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning
SiC-CVD-egenskaper
Kristallstruktur	FCC Î² fas
Densitet	g/cm³	3.21
Hårdhet	Vickers hårdhet	2500
Kornstorlek	Î¼m	2~10
Kemisk renhet	%	99.99995
Värmekapacitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Felexural styrka	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt böj, 1300â)	430
Termisk expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Värmeledningsförmåga	(W/mK)	300

Egenskaper hos SiC Coated Graphite Susceptor för MOCVD

- Undvik att skala av och säkerställ beläggning på alla ytor
Oxidationsbeständighet vid hög temperatur: Stabil vid höga temperaturer upp till 1600°C
Hög renhet: tillverkad av CVD kemisk ångavsättning under högtemperaturkloreringsförhållanden.
Korrosionsbeständighet: hög hårdhet, tät yta och fina partiklar.
Korrosionsbeständighet: syra, alkali, salt och organiska reagenser.
- Uppnå det bästa laminära gasflödesmönstret
- Garanterar jämnhet av termisk profil
- Förhindra all kontaminering eller spridning av föroreningar