> Produkter > Silikonkarbidbelagd > MOCVD-susceptor > MOCVD Wafer Carriers för halvledarindustrin

Produkter

Nya produkter

MOCVD Wafer Carriers för halvledarindustrin

Semicorex MOCVD Wafer Carriers for Semiconductor Industry är en top-of-the-line bärare designad för användning i halvledarindustrin. Dess högrena material säkerställer jämn termisk profil och laminärt gasflödesmönster, vilket ger högkvalitativa wafers.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Våra MOCVD Wafer Carriers för halvledarindustrin är mycket rena, tillverkade av CVD kemisk ångavsättning under högtemperaturkloreringsförhållanden, vilket säkerställer enhetlighet och konsistens hos produkten. Den är också mycket korrosionsbeständig, med en tät yta och fina partiklar, vilket gör den resistent mot syra, alkali, salt och organiska reagenser. Dess oxidationsbeständighet vid höga temperaturer säkerställer stabilitet vid höga temperaturer upp till 1600°C.
Kontakta oss idag för att lära dig mer om våra MOCVD Wafer Carriers för halvledarindustrin.

Parametrar för MOCVD Wafer Carriers för halvledarindustrin

Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning
SiC-CVD-egenskaper
Kristallstruktur	FCC Î² fas
Densitet	g/cm³	3.21
Hårdhet	Vickers hårdhet	2500
Kornstorlek	Î¼m	2~10
Kemisk renhet	%	99.99995
Värmekapacitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Felexural styrka	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt böj, 1300â)	430
Termisk expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Värmeledningsförmåga	(W/mK)	300

Funktioner hos SiC-belagd grafitsusceptor för MOCVD

- Undvik att skala av och säkerställ beläggning på alla ytor
Oxidationsbeständighet vid hög temperatur: Stabil vid höga temperaturer upp till 1600°C
Hög renhet: tillverkad av CVD kemisk ångavsättning under högtemperaturkloreringsförhållanden.
Korrosionsbeständighet: hög hårdhet, tät yta och fina partiklar.
Korrosionsbeständighet: syra, alkali, salt och organiska reagenser.
- Uppnå det bästa laminära gasflödesmönstret
- Garanterar jämnhet av termisk profil
- Förhindra all kontaminering eller spridning av föroreningar