SiC-belagda grafit MOCVD-susceptorer

SiC-belagda grafit MOCVD-susceptorerär de väsentliga komponenterna som används i utrustning för metall-organisk kemisk ångavsättning (MOCVD), som är ansvariga för att hålla och värma wafersubstrat. Med sin överlägsna värmehantering, kemiska motståndskraft och dimensionsstabilitet anses SiC-belagda grafit MOCVD-susceptorer som det optimala alternativet för högkvalitativ wafersubstratepitax.

I wafertillverkningen, denMOCVDTekniken används för att konstruera epitaxiella skikt på ytan av wafersubstrat, för att förbereda för tillverkning av avancerade halvledarenheter. Eftersom tillväxten av epitaxiella skikt påverkas av flera faktorer, kan wafersubstraten inte placeras direkt i MOCVD-utrustningen för avsättning. SiC-belagda grafit MOCVD-susceptorer krävs för att hålla och värma wafersubstraten, vilket skapar stabila termiska förhållanden för tillväxten av epitaxiella skikt. Därför bestämmer prestandan hos SiC-belagda grafit MOCVD-susceptorer direkt enhetligheten och renheten hos tunna filmmaterial, vilket i sin tur påverkar tillverkningen av avancerade halvledarenheter.

Semicorex väljerhög ren grafitsom matrismaterial för dess SiC-belagda grafit MOCVD-susceptorer och belägger sedan grafitmatrisen enhetligt medkiselkarbidbeläggning via CVD-teknik. Jämfört med den konventionella tekniken förbättrar CVD-tekniken bindningsstyrkan mellan kiselkarbidbeläggningen och grafitmatrisen avsevärt, vilket resulterar i en tätare beläggning med starkare vidhäftning. Även under den krävande korrosiva högtemperaturatmosfären bibehåller kiselkarbidbeläggningen sin strukturella integritet och kemiska stabilitet under en lång period, vilket effektivt förhindrar direktkontakt mellan korrosiva gaser och grafitmatrisen. Detta undviker effektivt korrosion av grafitmatrisen och förhindrar att grafitpartiklar lossnar och förorenar wafersubstrat och epitaxiella skikt, vilket säkerställer renheten och utbytet vid tillverkning av halvledaranordningar.

Fördelarna med  Semicorex SiC-belagda grafit MOCVD-susceptorer

1. Utmärkt korrosionsbeständighet

2. Hög värmeledningsförmåga

3. Överlägsen termisk stabilitet

4. Låg termisk expansionskoefficient

5. Exceptionell motståndskraft mot värmechock

6. Hög ytjämnhet

7. Uthållig livslängd