> Produkter > Silikonkarbidbelagd > MOCVD-acceptor > SiC Coating Graphite Substrate Wafer Carriers för MOCVD

Produkter

Nya produkter

SiC Coating Graphite Substrate Wafer Carriers för MOCVD

Du kan vara säker på att köpa SiC Coating Graphite Substrate Wafer Carriers för MOCVD från vår fabrik. På Semicorex är vi en storskalig tillverkare och leverantör av SiC Coated Graphite Susceptor i Kina. Vår produkt har en bra prisfördel och täcker många av de europeiska och amerikanska marknaderna. Vi strävar efter att förse våra kunder med högkvalitativa produkter som uppfyller deras specifika krav. Vår SiC Coating Graphite Substrate Wafer Carrier för MOCVD är ett utmärkt val för dem som letar efter en högpresterande bärare för sin tillverkning av halvledarprocesser.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

SiC Coating Graphite Substrate Wafer Carrier för MOCVD spelar en avgörande roll i halvledartillverkningsprocessen. Vår produkt är mycket stabil, även i extrema miljöer, vilket gör den till ett utmärkt val för produktion av högkvalitativa wafers.
Egenskaperna hos våra SiC Coating Graphite Substrate Wafer Carriers för MOCVD är enastående. Dess täta yta och fina partiklar förbättrar dess korrosionsbeständighet, vilket gör den resistent mot syra, alkali, salt och organiska reagenser. Bäraren säkerställer en jämn termisk profil och garanterar det bästa laminära gasflödesmönstret, vilket förhindrar att föroreningar eller föroreningar diffunderar in i skivan.

Parametrar för SiC Coating Graphite Substrate Wafer Carriers för MOCVD

Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning
SiC-CVD-egenskaper
Kristallstruktur	FCC β-fas
Densitet	g/cm³	3.21
Hårdhet	Vickers hårdhet	2500
Kornstorlek	μm	2~10
Kemisk renhet	%	99.99995
Värmekapacitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Felexural styrka	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt böj, 1300 ℃)	430
Termisk expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Värmeledningsförmåga	(W/mK)	300

Funktioner hos SiC-belagd grafitsusceptor för MOCVD

- Undvik att skala av och säkerställ beläggning på alla ytor
Oxidationsbeständighet vid hög temperatur: Stabil vid höga temperaturer upp till 1600°C
Hög renhet: tillverkad av CVD kemisk ångavsättning under högtemperaturkloreringsförhållanden.
Korrosionsbeständighet: hög hårdhet, tät yta och fina partiklar.
Korrosionsbeständighet: syra, alkali, salt och organiska reagenser.
- Uppnå det bästa laminära gasflödesmönstret
- Garanterar jämnhet av termisk profil
- Förhindra all kontaminering eller spridning av föroreningar