SiC Wafer Susceptorer för MOCVD

Semicorex SiC Wafer Susceptors för MOCVD är ett mönster av precision och innovation, speciellt framtagna för att underlätta epitaxiell avsättning av halvledarmaterial på wafers. Plattornas överlägsna materialegenskaper gör att de kan motstå de stränga villkoren för epitaxiell tillväxt, inklusive höga temperaturer och korrosiva miljöer, vilket gör dem oumbärliga för högprecisionshalvledartillverkning. Vi på Semicorex är dedikerade till att tillverka och leverera högpresterande SiC Wafer-susceptorer för MOCVD som förenar kvalitet med kostnadseffektivitet.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Kombinationen av termisk stabilitet, kemikaliebeständighet och mekanisk robusthet säkerställer att Semicorex SiC Wafer Susceptors för MOCVD har en lång livslängd, även under svåra bearbetningsförhållanden:

1. Dessa SiC Wafer Susceptorer för MOCVD är konstruerade för att motstå extremt höga temperaturer, ofta över 1500°C, utan nedbrytning. Denna motståndskraft är avgörande för processer som kräver långvarig exponering för höga termiska miljöer. De överlägsna termiska egenskaperna minimerar termiska gradienter och spänningar inuti susceptorn, vilket minskar risken för vridning eller deformation under extrema bearbetningstemperaturer.

2. SiC-beläggningen av SiC Wafer Susceptors för MOCVD ger exceptionell motståndskraft mot korrosiva kemikalier som används i CVD-processer, såsom halogenbaserade gaser. Denna tröghet säkerställer att bärarna inte reagerar med processgaser, vilket bibehåller integriteten och renheten hos de avsatta filmerna.

3. Den robusta konstruktionen av dessa SiC Wafer Susceptors för MOCVD säkerställer att de kan motstå de mekaniska påfrestningarna vid hantering och bearbetning utan att generera partiklar som kan kontaminera wafern. Enhetligheten hos susceptorernas yta främjar reproducerbara bearbetningsförhållanden, vilket är avgörande för att producera halvledarenheter med konsekvent prestanda och tillförlitlighet.

Dessa utökade beskrivningar belyser de professionella och tekniska fördelarna med SiC Wafer Susceptors för MOCVD i halvledar-CVD-processer, och betonar deras unika egenskaper och fördelar med att upprätthålla höga standarder för renhet, prestanda och effektivitet i tillverkningsprocessen.