Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.
Keramiska komponenter av hög renhet av SiC är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från förbrukningsartiklar till utrustning för bearbetning av skivor, såsom silicon Carbide wafer båt, cantilever paddlar, rör, etc för Epitaxy eller MOCVD.
Fördelar för halvledarprocesser
De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex levererar konstruktion av kiselkarbid med hög renhet (SiC) ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och motståndskraft.
Kammarlock →
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.
Fribärande paddel →
Cantilever Paddle är en avgörande komponent som används i halvledartillverkningsprocesser, särskilt i diffusions- eller LPCVD-ugnar under processer som diffusion och RTP.
Processrör →
Process Tube är en avgörande komponent, speciellt designad för olika halvledarbehandlingstillämpningar som RTP, diffusion.
Waferbåtar →
Wafer Boat används i halvledarbearbetning, den har noggrant utformats för att säkerställa att de ömtåliga wafers hålls säkra under de kritiska stadierna av produktionen.
Inloppsringar →
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
Fokusring →
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.
Semicorex har även keramiska produkter i aluminiumoxid (Al2O3), kiselnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirkoniumoxid (ZrO2), kompositkeramik, etc.
De avancerade materialegenskaperna hos Semicorex SiC Diffusion Furnace Tube, inklusive hög böjhållfasthet, enastående oxidations- och korrosionsbeständighet, hög slitstyrka, låg friktionskoefficient, överlägsna mekaniska egenskaper vid hög temperatur och ultrahög renhet, gör den oumbärlig i halvledarindustrin speciellt för diffusionsugnstillämpningar. Vi på Semicorex är dedikerade till att tillverka och leverera högpresterande SiC-diffusionsugnsrör som förenar kvalitet med kostnadseffektivitet.**
Läs merSkicka förfråganMed högkvalitativa materialegenskaper representerar Semicorex SiC Diffusion Boat optimal funktionalitet över ett brett spektrum av driftsparametrar: hårdhet, motståndskraft och termisk och kemisk beständighet, etc. Detta materialval är avgörande för att minska föroreningsrisker, skydda wafers och uthärda krävande förhållanden i halvledartillverkningsprocesser. Vi på Semicorex är dedikerade till att tillverka och leverera högpresterande SiC-diffusionsbåtar som förenar kvalitet med kostnadseffektivitet.**
Läs merSkicka förfråganSemicorex ICP Etching Plate är en avancerad, högpresterande komponent speciellt designad för halvledarapplikationer, tillverkad av kiselkarbid (SiC)-material. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina*.
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC-reflektor är ett centralt element i olika tillverkningsprocesser för halvledare. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina*.
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC keramiska värmeöverföringsplattor, baserade på SiC som primärmaterial, genomgår högtemperatursintring vid 2250°C, vilket resulterar i en starkt förglasad, tät keramisk kropp med noll porositet med en SiC-halt på ≥99,3 %. Med en böjhållfasthet på ≥410MPa och en värmeledningsförmåga på 140W/m.k är dessa keramer de enda materialen som kan motstå korrosion från starka syror som fluorvätesyra (HF) och svavelsyra (H2SO4) i halvledarindustrin. Vi på Semicorex är dedikerade till att tillverka och leverera högpresterande SiC keramiska värmeöverföringsplattor som förenar kvalitet med kostnadseffektivitet. **
Läs merSkicka förfråganSemicorex keramiska strukturdelar av kiselkarbid, framställda av kiselkarbidkorn som binds samman genom sintring, används i stor utsträckning inom fordons-, mekaniska-, kemi-, halvledar-, rymdteknik-, mikroelektronik- och energisektorerna och fyller viktiga roller i olika applikationer inom dessa industrier. På grund av sina anmärkningsvärda egenskaper har kiselkarbidkeramiska strukturdelar blivit ett idealiskt material för tuffa förhållanden som kännetecknas av höga temperaturer, höga tryck, korrosion och nötning, vilket ger pålitlig prestanda och lång livslängd i utmanande driftsmiljöer.**
Läs merSkicka förfrågan