Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.
Keramiska komponenter av hög renhet av SiC är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från förbrukningsartiklar till utrustning för bearbetning av skivor, såsom silicon Carbide wafer båt, cantilever paddlar, rör, etc för Epitaxy eller MOCVD.
Fördelar för halvledarprocesser
De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex levererar konstruktion av kiselkarbid med hög renhet (SiC) ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och motståndskraft.
Kammarlock →
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.
Fribärande paddel →
Cantilever Paddle är en avgörande komponent som används i halvledartillverkningsprocesser, särskilt i diffusions- eller LPCVD-ugnar under processer som diffusion och RTP.
Processrör →
Process Tube är en avgörande komponent, speciellt designad för olika halvledarbehandlingstillämpningar som RTP, diffusion.
Waferbåtar →
Wafer Boat används i halvledarbearbetning, den har noggrant utformats för att säkerställa att de ömtåliga wafers hålls säkra under de kritiska stadierna av produktionen.
Inloppsringar →
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
Fokusring →
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.
Semicorex har även keramiska produkter i aluminiumoxid (Al2O3), kiselnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirkoniumoxid (ZrO2), kompositkeramik, etc.
Semicorex Silicon Carbide Boat är en högpresterande komponent designad för användning i halvledardiffusionsprocesser och erbjuder exceptionell termisk stabilitet, slitstyrka och kemisk hållbarhet. Välj Semicorex för dess avancerade tillverkningskapacitet, som levererar pålitliga produkter av hög kvalitet som säkerställer optimal prestanda i krävande halvledar- och industriella applikationer.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex prioriterar kvalitet och prestanda, vilket säkerställer att varje SiC-packning uppfyller stränga industristandarder. Våra banbrytande tillverkningsprocesser garanterar att våra produkter levererar konsekventa och pålitliga resultat, vilket positionerar Semicorex som en ledare inom området avancerad keramik.
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC Grinding Media är tillverkad av kiselkarbidkeramik, ett material som är berömt för sin exceptionella hårdhet och hållbarhet. Konstruerad för att möta de rigorösa kraven från olika industriella applikationer, erbjuder SiC Grinding Media oöverträffad effektivitet och lång livslängd.
Läs merSkicka förfråganSemicorex 6 Inch SiC Boat är en högpresterande waferbärare gjord av kiselkarbid, designad för användning i högtemperaturhalvledarprocesser som oxidation och diffusion. Semicorex tillhandahåller produkter av överlägsen kvalitet med exceptionell termisk stabilitet, utmärkt kemisk resistens och ett engagemang för pålitlig, långvarig prestanda i krävande halvledarapplikationer.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex Vertical Silicon Boat är en kritisk komponent som används i halvledartillverkningsprocesser, Semicorex levererar skräddarsydda vertikala Silicon-båtar med oöverträffad kvalitet och precision, skräddarsydda för att möta de stränga kraven från halvledarindustrin.*
Läs merSkicka förfråganSi3N4 tätningsringen från Semicorex representerar ett betydande framsteg inom keramisk teknik, tillverkad av Si3N4, ett exceptionellt oorganiskt material. Denna keramik är känd för sin unika egenskap att inte krympa under sintringsprocessen, vilket säkerställer dimensionell stabilitet och konsistens.
Läs merSkicka förfrågan