Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.
Keramiska komponenter av hög renhet av SiC är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från förbrukningsartiklar till utrustning för bearbetning av skivor, såsom silicon Carbide wafer båt, cantilever paddlar, rör, etc för Epitaxy eller MOCVD.
Fördelar för halvledarprocesser
De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex levererar konstruktion av kiselkarbid med hög renhet (SiC) ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och motståndskraft.
Kammarlock →
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.
Fribärande paddel →
Cantilever Paddle är en avgörande komponent som används i halvledartillverkningsprocesser, särskilt i diffusions- eller LPCVD-ugnar under processer som diffusion och RTP.
Processrör →
Process Tube är en avgörande komponent, speciellt designad för olika halvledarbehandlingstillämpningar som RTP, diffusion.
Waferbåtar →
Wafer Boat används i halvledarbearbetning, den har noggrant utformats för att säkerställa att de ömtåliga wafers hålls säkra under de kritiska stadierna av produktionen.
Inloppsringar →
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
Fokusring →
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.
Semicorex har även keramiska produkter i aluminiumoxid (Al2O3), kiselnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirkoniumoxid (ZrO2), kompositkeramik, etc.
Silicon Nitride Roller, presenterad av Semicorex, är tillverkad av gastrycksintrad kiselnitrid (Si3N4), ett högpresterande keramiskt material.
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC roterande tätningsring är designad för att fungera under högt tryck och höga temperaturer. Dess stabilitet och hållbarhet i sådana miljöer gör den till en ovärderlig komponent i tätningsapplikationer där traditionella material kan misslyckas.
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC Robot Arm är en högpresterande keramisk robotarm av kiselkarbid designad för precision och hållbarhet i halvledartillverkningsprocesser. Välj Semicorex för vår expertis i att leverera innovativa, pålitliga och högkvalitativa lösningar skräddarsydda för halvledarindustrins behov.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC-båtar är högpresterande keramiska waferhållare av kiselkarbid designade för precision och hållbarhet i diffusionsprocesser. Välj Semicorex för oöverträffad kvalitet, branschexpertis och skräddarsydda lösningar som optimerar din tillverkningseffektivitet.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC Wafer Boat Holder är en keramisk komponent av kiselkarbid med hög renhet designad för TOPCon-processen av N-typ i solcellsdiffusion, och erbjuder exceptionell precision, hållbarhet och tillförlitlighet. Välj Semicorex för innovativa lösningar inom halvledarmaterial, uppbackad av oöverträffad expertis och ett engagemang för kvalitet.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex Silicon Carbide Wafer Boats är delar för halvledar- och solcellstillverkning, vilket ger utmärkt termisk stabilitet, mekanisk styrka och kemisk beständighet. Välj Semicorex för dess banbrytande teknologi, överlägsna materialkvalitet och engagemang för att leverera tillförlitliga, långvariga produkter som uppfyller kraven från avancerade industriella processer.*
Läs merSkicka förfrågan