Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.
Keramiska komponenter av hög renhet av SiC är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från förbrukningsartiklar till utrustning för bearbetning av skivor, såsom kiselkarbidskiva, fribärande paddlar, rör, etc för Epitaxy eller MOCVD.
Fördelar för halvledarprocesser
De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex levererar konstruktion av kiselkarbid med hög renhet (SiC) ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och motståndskraft.
Kammarlock →
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.
Fribärande paddel →
Cantilever Paddle är en avgörande komponent som används i halvledartillverkningsprocesser, särskilt i diffusions- eller LPCVD-ugnar under processer som diffusion och RTP.
Processrör →
Process Tube är en avgörande komponent, speciellt designad för olika halvledarbearbetningsapplikationer som RTP, diffusion.
Waferbåtar →
Wafer Boat används i halvledarbearbetning, den har noggrant utformats för att säkerställa att de ömtåliga wafers hålls säkra under de kritiska stadierna av produktionen.
Inloppsringar →
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
Fokusring →
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.
Semicorex har även keramiska produkter i aluminiumoxid (Al2O3), kiselnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirkoniumoxid (ZrO2), kompositkeramik, etc.
Semicorex aluminiumnitridisoleringsringar är oumbärliga komponenter i avancerad halvledartillverkning, särskilt i högfrekventa värmebehandlingsprocesser. Deras unika kombination av högtemperaturstabilitet, överlägsna tätningsegenskaper, exceptionell värmeledningsförmåga och inneboende hållbarhet gör dem väsentliga för att säkerställa exakt processkontroll, hög enhetskapacitet och förlängd utrustningslivslängd i den krävande miljön för halvledartillverkning. Vi på Semicorex är dedikerade till att tillverka och leverera högpresterande aluminiumnitridisoleringsringar som förenar kvalitet med kostnadseffektivitet.**
Läs merSkicka förfråganSemicorex aluminiumnitrid elektrostatiska chuckar erbjuder en övertygande kombination av egenskaper som gör dem idealiska för de krävande kraven för bearbetning av halvledarskivor. Deras förmåga att tillhandahålla säker och enhetlig skivklämning, utmärkt värmehantering och motståndskraft mot tuffa bearbetningsmiljöer leder till förbättrad enhetsprestanda, högre utbyten och minskade tillverkningskostnader. Vi på Semicorex är dedikerade till att tillverka och leverera högpresterande elektrostatiska aluminiumnitridchuckar som förenar kvalitet med kostnadseffektivitet.**
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC Wafer Inspection Chucks är kritiska möjliggörare för avancerad halvledartillverkning, och möter de ökande kraven på precision, renhet och genomströmning. Deras överlägsna materialegenskaper översätts till påtagliga fördelar genom hela wafertillverkningsprocessen, vilket i slutändan bidrar till högre avkastning, förbättrad enhetsprestanda och lägre totala tillverkningskostnader. Vi på Semicorex är dedikerade till att tillverka och leverera högpresterande SiC Wafer Inspection Chucks som kombinerar kvalitet med kostnadseffektivitet.**
Läs merSkicka förfråganSemicorex Alumina Ceramic Robotic Arm, även känd som waferhantering keramisk robotarm eller keramisk kiselwaferhanteringsgaffel, är en högpresterande halvledarutrustningskomponent. Dess design tar hänsyn till de stränga kraven för halvledartillverkning. Med sin höga temperaturbeständighet, slitstyrka, kemiska stabilitet och utmärkta elektriska isoleringsegenskaper spelar den keramiska aluminiumoxidarmen en oersättlig roll i den globala halvledartillverkningsindustrin. Vi på Semicorex är dedikerade till att tillverka och leverera högpresterande aluminiumoxid keramisk robotarm som förenar kvalitet med kostnadseffektivitet.**
Läs merSkicka förfråganDe avancerade materialegenskaperna hos Semicorex SiC Diffusion Furnace Tube, inklusive hög böjhållfasthet, enastående oxidations- och korrosionsbeständighet, hög slitstyrka, låg friktionskoefficient, överlägsna mekaniska egenskaper vid hög temperatur och ultrahög renhet, gör den oumbärlig i halvledarindustrin speciellt för diffusionsugnstillämpningar. Vi på Semicorex är dedikerade till att tillverka och leverera högpresterande SiC-diffusionsugnsrör som förenar kvalitet med kostnadseffektivitet.**
Läs merSkicka förfråganMed högkvalitativa materialegenskaper representerar Semicorex SiC Diffusion Boat optimal funktionalitet över ett brett spektrum av driftsparametrar: hårdhet, motståndskraft och termisk och kemisk beständighet, etc. Detta materialval är avgörande för att minska föroreningsrisker, skydda wafers och uthärda krävande förhållanden i halvledartillverkningsprocesser. Vi på Semicorex är dedikerade till att tillverka och leverera högpresterande SiC-diffusionsbåtar som förenar kvalitet med kostnadseffektivitet.**
Läs merSkicka förfrågan