Susceptorer för MOCVD-reaktorer

Semicorex susceptorer för MOCVD-reaktorer är högkvalitativa produkter som används i halvledarindustrin för olika applikationer som kiselkarbidskikt och epitaxihalvledare. Vår produkt finns i kugg- eller ringform och är designad för att uppnå oxidationsbeständighet vid hög temperatur, vilket gör den stabil vid temperaturer upp till 1600°C.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Våra susceptorer för MOCVD-reaktorer tillverkas av CVD-kemisk ångavsättning under högtemperaturkloreringsförhållanden, vilket säkerställer hög renhet. Produktens yta är tät, med fina partiklar och hög hårdhet, vilket gör den korrosionsbeständig mot syra, alkali, salt och organiska reagenser.
Våra susceptorer för MOCVD-reaktorer är designade för att säkerställa beläggning på alla ytor, undvika att skala av och uppnå bästa laminära gasflödesmönster. Produkten garanterar en jämn termisk profil och förhindrar föroreningar eller spridning av föroreningar under processen, vilket säkerställer resultat av hög kvalitet.
På Semicorex prioriterar vi kundnöjdhet och tillhandahåller kostnadseffektiva lösningar. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner, leverera högkvalitativa produkter och exceptionell kundservice.

Parametrar för susceptorer för MOCVD-reaktorer

Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning
SiC-CVD-egenskaper
Kristallstruktur	FCC β-fas
Densitet	g/cm³	3.21
Hårdhet	Vickers hårdhet	2500
Kornstorlek	μm	2~10
Kemisk renhet	%	99.99995
Värmekapacitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Felexural styrka	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt böj, 1300 ℃)	430
Termisk expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Värmeledningsförmåga	(W/mK)	300

Funktioner hos SiC-belagd grafitsusceptor för MOCVD

- Undvik att skala av och säkerställ beläggning på alla ytor
Oxidationsbeständighet vid hög temperatur: Stabil vid höga temperaturer upp till 1600°C
Hög renhet: tillverkad av CVD kemisk ångavsättning under högtemperaturkloreringsförhållanden.
Korrosionsbeständighet: hög hårdhet, tät yta och fina partiklar.
Korrosionsbeständighet: syra, alkali, salt och organiska reagenser.
- Uppnå det bästa laminära gasflödesmönstret
- Garanterar jämnhet av termisk profil
- Förhindra all kontaminering eller spridning av föroreningar