Som professionell tillverkning vill vi ge dig halvledarkomponenter. Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.
SiC-belagda komponenter med hög renhet är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från grafittillbehör för kristalltillväxt heta zoner (värmare, degelsusceptorer, isolering) till högprecisionsgrafitkomponenter för waferbearbetningsutrustning, såsom kiselkarbidbelagda grafitsusceptorer för Epitaxi eller MOCVD.
Fördelar för halvledarprocesser
De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex levererar högren kiselkarbid (SiC) belagd grafitkonstruktion ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och beständighet.
Kammarlock →
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.
Sluteffektor →
Ändeffektor är robotens hand som flyttar halvledarskivor mellan positioner i waferbearbetningsutrustning och bärare.
Inloppsringar →
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
Fokusring →
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.
Semicorex Silicon Pedestal Boat är en 9N waferbärare med ultrahög renhet konstruerad för exakt och stabilt waferstöd i högtemperaturoxidation, diffusion och LPCVD-processer. Välj Semicorex för oöverträffad materialrenhet, precisionsbearbetning och beprövad tillförlitlighet*
Läs merSkicka förfråganSemicorex Silicon Injector är en rörformad komponent med ultrahög renhet konstruerad för exakt och kontamineringsfri gasleverans i LPCVD-polykiselavsättningsprocesser. Välj Semicorex för branschledande renhet, precisionsbearbetning och beprövad tillförlitlighet.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex Silicon Wafer Boat är en högrenhetsbärare designad för halvledarhögtemperaturugnar, som stödjer wafers under oxidations- och reduktionsprocesser vid 1200–1250 °C. Semicorex tillhandahåller överlägsna produkter, ultraren prestanda och pålitliga resultat som direkt förbättrar enhetens avkastning.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex Silicon Shield Ring är en kiselkomponent med hög renhet konstruerad för avancerade plasmaetsningssystem, som fungerar som både en skyddande skärm och en hjälpelektrod. Semicorex säkerställer ultraren prestanda, processstabilitet och överlägsna etsresultat med precisionskonstruerade halvledarkomponenter.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC Ceramic Paddle är en fribärande komponent med hög renhet som är konstruerad för halvledar-högtemperaturugnar, främst använd i oxidations- och diffusionsprocesser. Att välja Semicorex innebär att få tillgång till avancerade keramiska lösningar som säkerställer exceptionell stabilitet, renhet och hållbarhet för kritiska wafer-hanteringsapplikationer.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC-belagda Halfmoon Parts är precisionskonstruerade komponenter designade som väsentliga delar av epitaxiell utrustning, där två halvmånformade sektioner kombineras för att bilda en komplett kärna. Att välja Semicorex innebär att säkra pålitliga, högrena och hållbara lösningar som säkerställer stabilt waferstöd och effektiv värmeledning för avancerad halvledartillverkning.*
Läs merSkicka förfrågan